METHOD AND DEVICE FOR GENERATING IN PARTICULAR EUV RADIATION AND/OR SOFT X-RAY RADIATION,申请号EP20040801546-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR GENERATING IN PARTICULAR EUV RADIATION AND/OR SOFT X-RAY RADIATION
摘要
申请公布号	EP1716726(A2)	申请公布日期	2006.11.02
申请号	EP20040801546	申请日期	2004.12.13
申请人	PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	DERRA, GUENTHER HANS;APETZ, ROLF THEO ANTON;NEFF, WILLI;ROSIER, OLIVER;ZINK, PETER
分类号	H05G2/00;G03F7/20	主分类号	H05G2/00
代理机构		代理人
主权项
地址