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发明名称 TWO STEPS CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PROCESS
摘要
申请公布号 EP1295322(B1) 申请公布日期 2006.11.02
申请号 EP20010948806 申请日期 2001.06.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP.;INFINEON TECHNOLOGIES RICHMOND, LP 发明人 PAGE, JOSEPH
分类号 H01L21/3105;B24B37/04 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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