| 发明名称 |
Measurement station and processing station for semiconductor wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1617461(A3) |
申请公布日期 |
2006.11.02 |
| 申请号 |
EP20050109183 |
申请日期 |
2000.01.17 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LIMITED |
发明人 |
DVIR, ERAN |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/683;B25J15/08;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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