| 发明名称 |
GERÄT ZUR ERZEUGUNG EINES LASERMUSTERS AUF EINER FOTOMASKE, SOWIE ENTSPRECHENDE METHODEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60123227(D1) |
申请公布日期 |
2006.11.02 |
| 申请号 |
DE2001623227 |
申请日期 |
2001.03.15 |
| 申请人 |
HARRIS CORP. |
发明人 |
MONTGOMERY, ROBERT;BURBERRY, LEE |
| 分类号 |
G03F7/20;G02B26/12;G02B27/10;G03F1/08;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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