液晶显示装置之薄膜电晶体制造方法

摘要

一种使用六次光罩制程制造液晶显示装置的薄膜电晶体的方法，包含对基板上的不同区域的部份半导体层进行第一和第二杂质之掺杂； 积导电层，并透过使用绕射图案作为光罩的绕射曝光在导电层和半导体层形成图案以定义源极和汲极区域及主动区域；进行灰化制程以移除部份的导电层来形成源极、汲极和通路区域；在基板上形成闸极绝缘层并在闸极绝缘层上形成闸极；在基板上形成钝化层并蚀刻暴露其中一个汲极的画素接触孔； 积画素电极使之透过画素接触孔与汲极连接。