发明名称 发光装置与其制造方法、以及氮化物半导体基板
摘要 本发明关于一种发光装置,其包括:一GaN基板1;一n型氮化物半导体层(n型AlxGa1–xN层3),其系置放于该GaN基板1之一第一主要表面侧上;一p型氮化物半导体层(p型AlxGa1–xN层5),其系置放成与该n型氮化物半导体基板层相比离该GaN基板1更远;以及一发光层(多量子井(multiquantumwell;MQW)4),其系定位于该n型氮化物半导体层与该p型氮化物半导体层之间。该p型半导体层侧系向下安装。并且从一第二主要表面1a释放光,其中该主要表面与该GaN基板1之第一主要表面相对。在该GaN基板1之第二主要表面上形成一沟槽80。该沟槽80之内部周边表面包括一区段(弯曲表面区段),在该区段上执行表面处理以使得该内部周边表面变平滑。
申请公布号 TW200638562 申请公布日期 2006.11.01
申请号 TW094143758 申请日期 2005.12.09
申请人 住友电气工业股份有限公司 发明人 永井阳一;片山浩二;北林弘之
分类号 H01L33/00(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本