树脂黑色矩阵与玻璃基板表面附着性提升之方法及其装置

摘要

本发明系提出一种树脂黑色矩阵与玻璃基板表面附着性提升之方法及其装置。首先，经由旋转涂布机(spincoater)或细缝喷嘴(slitnozzle)将黑色感光光阻均匀涂布在一透明玻璃基板表面。接着，使用正面曝光(frontexposure)将光罩上的图案复制在黑色感光光阻上。再经由显影程序(development)并且移除不需要的光阻之清洗步骤(stripping)，最后产生树脂黑色矩阵在透明玻璃基板上。随后，使用背面曝光装置由透明玻璃基板的背面照射高能量的光线。此时，进行不加光罩的背面曝光程序(backexposure)。最后，将完成背面曝光的产品送进烤箱进行烘烤程序(post–baking)。