一种无铬膜相位移式光罩

摘要

本发明披露一种无铬膜相位移式光罩，包含有一透光基板；一形成在该透光基板上，且沿第一方向配置的复数行第一相位移线条图案，具有一第一基板厚度，各该复数行第一相位移线条图案上皆分布有复数个5％～10％透光区域，且在两个相邻的该5％～10％透光区域之间为一第一相位移100％透光区域；以及一形成在该透光基板上，与该复数行第一相位移线条图案平行配置的复数行第二相位移线条图案，该复数行第二相位移线条图案上100％透光且具有一第二基板厚度，其中该第一相位移线条图案与该第二相位移线条图案具有相同线宽且呈交替排列。