| 主权项 |
1.一种微致动器,包含固定部,及固定端被固定于该固定部之具有悬臂梁结构的可动部,其特征在于:该可动部,系在该可动部之该固定端与自由端之间具备梁部;该梁部,系包含串接在该固定端与该自由端之间的复数个梁构成部;在该可动部没有受力之状态下,该复数个梁构成部之中一个梁构成部与其他至少一个梁构成部,关于该固定部侧与其相反侧之弯曲、非弯曲状态并不相同。2.如申请专利范围第1项之微致动器,其中,该复数个梁构成部,分别系由1层以上之薄膜构成;该复数个梁构成部中至少一个梁构成部之层数,少于其他梁构成部之层数;构成该至少一个梁构成部全部之一个以上之层、与构成该其他梁构成部一部分之一个以上之层,其层数、各层之材料、以及各层之厚度皆相同。3.如申请专利范围第1、2项之微致动器,其中,该复数个梁构成部中最靠近固定端侧之梁构成部为板弹簧部;该复数个梁构成部中,该最靠近固定端侧之梁构成部以外之至少一个梁构成部,系至少对于该固定部侧以及其相反侧之弯曲实质上具有刚性之刚性部。4.如申请专利范围第3项之微致动器,其中,该最靠近固定端侧之梁构成部,在该可动部没有受力之状态下,系向该固定部之相反侧弯曲;该刚性部,实质上既不向该固定部侧、也不向其相反侧弯曲。5.如申请专利范围第1或2项之微致动器,其中,该复数个梁构成部中最靠近固定端侧之梁构成部,为板弹簧部;该复数个梁构成部中,该最靠近固定端侧之梁构成部以外之至少一个梁构成部,为板弹簧部。6.如申请专利范围第5项之微致动器,其中,该最靠近固定端侧之梁构成部,在该可动部没有受力之状态下,系向与该固定部之相反侧弯曲;该最靠近固定端侧之梁构成部以外之该至少一个梁构成部,在该可动部在没有受力之状态下,系弯曲向该固定部侧。7.如申请专利范围第5项之微致动器,其中,该复数个梁构成部中,该最靠近固定端侧之梁构成部以外之另一其他至少一个梁构成部,系对于该固定部侧以及其相反侧之弯曲实质上具有刚性之刚性部。8.如申请专利范围第7项之微致动器,其中,该刚性部,实质上既不向该固定部侧、也不向其相反侧弯曲。9.如申请专利范围第3项之微致动器,其中,该刚性部,具有平面部,以及由该平面部往上或往下之补强部。10.一种微致动器,包含固定部,以及固定端被固定于该固定部之具有悬臂梁结构的可动部,其特征在于:该可动部,系在该可动部之该固定端与自由端之间具备梁部;该梁部,系包含串接在该固定端与该自由端之间的复数个梁构成部;在该可动部没有受力之状态下,该复数个梁构成部之中一个梁构成部与其他至少一个梁构成部,关于该固定部侧与其相反侧之弯曲、非弯曲状态并不相同;该复数个梁构成部中最靠近固定端侧之梁构成部,为板弹簧部;该复数个梁构成部中,该板弹簧部以外之至少一个梁构成部,系至少对于该固定部侧以及其相反侧之弯曲具有实质上之刚性的刚性部;该刚性部,包含平面部、及由该平面部向上或是向下之补强部。11.如申请专利范围第1、2、10项中任一项之微致动器,其中,该可动部之固定端,系透过脚部而固定在该固定部,该脚部具有由该固定部向上之向上部。12.如申请专利范围第1、2、10项之微致动器,其中,该可动部由薄膜所构成。13.如申请专利范围第1、2、10项中任一项之微致动器,其中,该固定部包含有第1电极部;该可动部,包含有第2电极部,此第2电极部系藉由与该第1电极部之间之电压,在与该第1电极部之间产生静电力。14.如申请专利范围第1、2、10项中任一项之微致动器,其中,该可动部,具有配置在磁场内、藉由通电而产生罗伦兹力的电流路径。15.一种光开关,其特征在于,具备:申请专利范围第1至第14项中任一项之微致动器,以及设置在该可动部之反射镜。图式简单说明:第1图,系以示意方式显示本发明第1实施形态之微致动器及被此驱动之反射镜的膜概略俯视图。第2图,系沿第1图之X1-X2线的概略剖面图。第3图,系沿第1图之Y1-Y2线的概略剖面图。第4图,(a)-(d'')系以示意方式分别显示第1图至第3图所示之微致动器之制造方法之各制程的概略剖面图。第5图,(a)-(b)系以示意方式分别显示第1图至第3图所示之微致动器之制造方法之其他各制程的概略剖面图。第6图,系以示意方式显示本发明第2实施形态之微致动器及被此驱动之反射镜的概略俯视图。第7图,系沿第6图中之X3-X4线的概略剖面图。第8图,系沿第6图中之Y3-Y4线的概略剖面图。第9图,(a)-(g)系以示意方式分别显示第6图至第8图所示之微致动器之制造方法之各制程的概略剖面图。第10图,系以示意方式显示本发明第3实施形态之微致动器及被此驱动之反射镜的概略俯视图。第11图,系沿第10图中之X7-X8线的概略剖面图。第12图,系沿第10图中之Y5-Y6线的概略剖面图。第13图,系沿第10图中之Y7-Y8线的概略剖面图。第14图,系沿第10图中之Y9-Y10线的概略剖面图。第15图,系以示意方式显示本发明第4实施形态之微致动器及被此驱动之反射镜的概略俯视图。第16图,系沿第15图中之X11-X12线的概略剖面图。第17图,系沿第15图中之X13-X14线的概略剖面图。第18图,系沿第15图中之X15-X16线的概略剖面图。第19图,系沿第15图中之Y11-Y12线的概略剖面图。第20图,系沿第15图中之Y13-Y14线的概略剖面图。第21图,系沿第15图中之Y15-Y16线的概略剖面图。第22图,系沿第15图中之Y17-Y18线的概略剖面图。第23图,系以示意方式显示复数个微致动器之配置例的概略俯视图。第24图,系以示意方式显示本发明第5实施形态之微致动器及被此驱动之反射镜的概略俯视图。第25图,系沿第24图中之X31-X32线的概略剖面图。第26图,系沿第24图中之X33-X34线的概略剖面图。第27图,系沿第24图中之X35-X36线的概略剖面图。第28图,系沿第24图中之Y31-Y32线的概略剖面图。第29图,系沿第24图中之Y33-Y34线的概略剖面图。第30图,系沿第24图中之Y35-Y36线的概略剖面图。第31图,系沿第24图中之Y37-Y38线的概略剖面图。第32图,系以示意方式显示本发明第6实施形态之微致动器及被此驱动之反射镜的概略俯视图。第33图,系以示意方式显示在没有供给驱动讯号之状态下,本发明第7实施形态之光开关的概略剖面图。第34图,系以示意方式显示在有供给驱动讯号之状态下,本发明第7实施形态之光开关的概略剖面图。第35图,系以示意方式显示第33图及第34图中之光导波路基板的概略立体图。 |
