主权项 |
1.一种面板清洁方法,是使用旋转式面板清洁装置对面板表面进行清洁的方法,其特征为:前述旋转式面板清洁装置是由:具有一个略等于面板平面形状的开口支单体导轨的面板支承手段;和于下端配置接触滚子,并具有透过该接触滚子来运送研磨带之带供给手段的头部;和通过前述接触滚子中央之轴线,使前述头部产生旋转的头部旋转手段;和使前述头部或面板支承手段在上下方向上移动的Z移动手段;及使前述头部或面板支承手段在前后左右的方向上移动的XY移动手段所构成,而本案的面板清洁方法是由:将面板配置于前述单体导轨开口内,使面板支承于前述面板支承手段的步骤;和使前述头部旋转轴位于前述单体导轨表面上来决定前述头部或前述面板支承手段的位置,并使前述头部或前述面板支承手段朝上下移动后,透过前述接触滚子将前述研磨带按压于前述单体导轨表面的按压步骤;及一边透过前述接触滚子运送前述研磨带,一边使前述头部在前述头部旋转轴上旋转,并使前述头部在前述面板的表面上形成蛇行移动地,令前述头部或前述面板支承手段在前后左右的方向移动的步骤所构成,而面板的清洁,是在前述头部旋转轴位于前述单体导轨表面的状态下开始进行,前述头部之蛇行移动的折返,是在前述头部旋转轴位于前述单体导轨表面的状态下执行。图式简单说明:第1图:根据本发明所述,进行面板清洁中之接触滚子的轨道图。第2图:采用本发明之面板清洁方法的旋转式面板清洁装置正视图。第3图:第2图之面板清洁装置的平面图。第4图:第3图中BB线剖面图。第5图:当单体固定于单体导轨时之单体与单体导轨的局部剖面图。第6图:显示传统面板清洁过程中的接触滚子轨道。 |