| 主权项 |
1.一种微镜装置,其包含有:一具有一表面之基板;一板体,其与该基板之表面相间隔且实质平行定位,该板体与该基板之表面间界定有一腔;一介电电泳液配置于该腔,于一电讯号被施加至该装置时,该介电电泳液能进行运动;以及一被插设于该基板之表面与该板体间之反射元件,其中该反射元件适合于一第一位置与至少一第二位置间移动。2.如申请专利范围第1项之微镜装置,其中该介电电泳液系非氢链结,且具有一小于20之介电常数。3.如申请专利范围第1项之微镜装置,其中该介电电泳液具有一至少约1德拜(Debye)之偶极距。4.如申请专利范围第1项之微镜装置,其中该介电电泳液系可压缩的。5.如申请专利范围第1项之微镜装置,其中该介电电泳液系可极化的。6.如申请专利范围第1项之微镜装置,其中该介电电泳液系实质透明的。7.如专利申请范围第1项之微镜装置,其中该介电电泳液系被选自于由聚(苯醚)x、具有自约2至约12碳原子之烷烃、烯烃及环烷烃、全氟烷烃、1,1-二苯乙烯与1,2-二苯乙烯、苯及经取代之苯、氯化芳烃与多氯联苯及全氟醚,其中X系约2至约6。8.如专利申请范围第7项之微镜装置,其中该全氟烷烃系全氟十氢烷,且该烯属烃系被选自十二烯及橄榄油。9.如专利申请范围第1项之微镜装置,其中该液体系选自于由1,1-二苯乙烯、1,2-二苯乙烯及此等混合物所构成之群组中。10.如申请专利范围第1项之微镜装置,其中该介电电泳液系一全氟醚。11.如专利申请范围第1项之微镜装置,其更包含有:被形成于该基板之表面上之至少一电极,该电极具有与反射元件不同之尺寸,其中该反射元件适于因应一电讯号之施加至该至少一电极而移动,且该电讯号适于形成一非均匀电场于该腔。12.一种微致动器,其包含有:一具有一表面之基板;一板体,其与该基板之表面相间隔且实质平行定位,该板体与该基板之表面间界定有一腔;一介电电泳液,其配置于该腔内,且能够于一电讯号被施加至该微致动器时进行运动;以及一插设于该基板之表面与该板体间之致动元件,其中该致动元件适于在一第一位置与至少一第二位置间移动。13.如专利申请范围第12项之微致动器,其中该介电电泳液系非氢链结,且具有一小于20之介电常数。14.如专利申请范围第12项之微致动器,其中该介电电泳液具有一致少约1德拜之偶极距。15.如专利申请范围第12项之微致动器,其中该介电电泳液系被选自于由聚(苯醚)x、具有自约2至约12碳原子之烷烃、烯烃及环烷烃、全氟烷烃、1,1-二苯乙烯与1,2-二苯乙烯、苯及经取代之苯、氯化芳烃与多氯联苯及全氟醚,其中X系约2至约6。16.如专利申请范围第12项之微致动器,其更包含有:被形成于基板之表面上之至少一电极,该电极具有与致动元件不同之尺寸,其中该致动元件适于因应一电讯号之施加至该至少一电极而移动,且该电讯号适于形成一非均匀电场于该腔。17.如专利申请范围第12项之微致动器,其中该介电电泳液系适于增加一致动力至该致动元件,该致动力系如由一给定活化能所产生者。18.一种使用一介电电泳液之方法,该一介电电泳液系位在一微致动器中,该微致动器包括一适于在一第一位置与至少一第二位置间移动之致动器元件,该方法包含:配置该介电电泳液于该微致动器之一腔内,包括将该致动器元件予以定位以及将该致动器元件浸入该介电电泳液中之至少一者;以及令该致动器元件于第一位置与至少一第二位置间移动,包括施加一电讯号至该微致动器,其中介电电泳液于该电讯号被施加至该微致动器时,会呈现运动行为,且该运动促成该致动器元件于第一位置与至少一第二位置间移动。19.如专利申请范围第18项之使用一介电电泳液之方法,其中该介电电泳液系非氢链结,且具有一小于20之介电常数。20.如专利申请范围第19项之使用一介电电泳液之方法,其中该介电电泳液具有一至少约1德拜之偶极距。图式简单说明:第1图系一结构横截面图说明如本发明微镜装置一部份之一实施例。第2图系一透视图说明如本发明微镜装置一部份之一实施例。第3图系一透视图说明如本发明微镜装置一部份之另一实施例。第4图系一结构横截面图拿出第2与第3图之线4-4说名如本发明微镜装置致动之一实施例。第5图系一相似于第4图之结构横截面图说明如本发明微镜装置致动之另一实施例。第6图系一相似于第4图之结构横截面图说明如本发明微镜装置致动之另一实施例。第7图系一透视图说明如本发明微镜装置一部份之另一实施例。第8图系一结构横截面图拿出第7图之线8-8说明如本发明微镜装置致动之一实施例。第9图系一透视图说明如本发明微镜装置一部份之另一实施例。第10A图系一结构横截面图拿出第9图之线10-10说明如本发明微镜装置致动之一实施例。第10B图系一相似于第10A图之结构横截面图说明如本发明微镜装置另一实施例之致动。第10C图系一相似于第10A图之结构横截面图说明如本发明微镜装置另一实施例之致动。第11图系一透视图说明如本发明微镜装置一部份之另一实施例。第12图系一结构横截面图拿出第11图之线12-12说明如本发明微镜装置致动之一实施例。第13图系一方块图说明包括如本发明微镜装置之一显示系统之一实施例。第14图系一透视图说明如本发明微镜装置阵列部分之一实施例。第15图系一透视图说明如本发明微镜装置阵列部分之另一实施例。 |
