| 主权项 |
1.一种有机金属化合物的汽化供给装置,其特征为:具备有:(1)收容有机金属化合物的原料容器;载体气体源;管线(in-line)监视器;连接前述原料容器与载体气体源且控制载体气体的流量之质量流动(mass flow)控制器之载体气体导入管路;(2)连接前述原料容器与管线监视器,输送藉由前述载体气体来汽化、同行的有机金属化合物气体之有机金属化合物气体管路;(3)连接诱导结合型电浆发光分光分析装置;前述连接前述管线监视器与前述分析装置试料导入口的试料气体管路;(4)填充有校正用标准气体的贮气瓶(gas cylinder);连接此贮气瓶与前述试料管路的使用部且介设有用来控制校正用标准气体的流量的质量流动控制器之标准气体管路;以及(5)与此标准气体管路在较标准气体用质量流动控制器的介设位置更下游侧连结,流通着用来调整前述校正用标准气体的浓度的稀释用气体,且介设有用来控制此稀释用气体的流量的稀释用质量流动控制器之稀释气体管路。2.如申请专利范围第1项之有机金属化合物的汽化供给装置,其中具备有:配设有复数个校正用标准贮气瓶,并且分别介设有用来控制这些标准气体的流量的标准气体质量流量控制器之复数个标准气体管路;及各自介设有分别连接于这些标准气体管路的稀释用质量流量控制器之复数个稀释气体管路。3.如申请专利范围第1或2项之有机金属化合物的汽化供给装置,其中在有机金属化合物气体管路,连接有:介设着稀释载体气体用质量流量控制器之用来供稀释有机金属化合物浓度的载体气体流通之旁流管路。图式简单说明:第1图是显示本发明的一实施例之概略构成图。第2图是显示本发明的其他实施例之概略构成图。第3图是显示本发明的另一实施例之概略构成图。第4图是显示本发明的其他实施例之概略构成图。第5图是显示本发明的另一实施例之概略构成图。 |
