细胞微粒检测晶片及其制造方法

摘要

一种细胞微粒检测晶片及其制造方法，适用于分类及计数一样品流体中之细胞，细胞微粒检测晶片包含：一透明板状基座、一中空地形成于基座内的微管道单元，及一设置于微管道单元内之感测单元。利用微管道单元之高度及其产生之边鞘流以聚焦样品流体内之细胞依序排列流动，并以光感应的方式侦测细胞数量，以达到不须使用电场或磁场就可三维聚焦样品流体之细胞流动的功效，且其制造方法是以微影蚀刻之方式制作模具，再以高分子材料灌制而成，制程是半导体工业成熟之技术，以此技术制作可提高生产良率，且可大量生产制造，以节省下研发制程的时间，降低成本。