真空泵之布置

摘要

本发明描述一种用于抽空一腔室之一真空泵布置，其中该泵布置包括平行连接至用于自该腔室接收气体的一入口管之复数个增压泵、平行连接至用于自该等第一真空泵接收气体排气的一排气管之复数个预抽泵(backingpump)、及用于选择性地将该等增压泵中的至少一个自该入口管及该排气管隔离之一阀门布置。为了改良抽空该腔室之速率而控制该阀门布置，以使得流经该等增压泵中至少一个之气流在抽空该腔室之一初始阶段期间被抑制，且在抽空该腔室之一随后阶段期间被允许。