主权项 |
1.一种线测定装置,其特征为由: 含复数个之半导体检测元件之线检测器, 和将各别之半导体检测元件的输出讯号予以相加 之加法器, 和依据半导体检测元件之相加输出讯号,以分析 线之能量分布之波高分析器所形成。 2.一种线测定装置,其特征为由: 含平面配置之复数个之半导体检测元件之线检 测器, 和将各别之半导体检测元件的输出讯号予以相加 之加法器, 反同时计数各别之半导体检测元件的输出讯号之 反同时计数器, 和依据未被反同时计数之半导体检测元件的相加 输出讯号,以分析线之能量分布之波高分析器所 形成。 3.一种线测定装置,其特征为由: 含上下配置之复数个之半导体检测元件之线检 测器, 和将各别之半导体检测元件的输出讯号予以相加 之加法器, 反同时计数各别之半导体检测元件的输出讯号之 反同时计数器, 和依据未被反同时计数之半导体检测元件的相加 输出讯号,以分析线之能量分布之波高分析器所 形成。 4.一种线测定装置,其特征为由: 含平面以及上下配置之复数个之半导体检测元件 之线检测器, 和在各平面内将各别之半导体检测元件的输出讯 号予以相加之加法器, 反同时计数各平面之半导体检测元件的相加输出 讯号之反同时计数器, 和依据未被反同时计数之各平面的半导体检测元 件的相加输出讯号,以分析线之能量分布之波高 分析器所形成。 5.如申请专利范围第2项所记载之线测定装置,其 中,反同时计数器系在至少1个之前述半导体检测 元件的输出讯号和剩余之前述半导体检测元件之 输出讯号间,进行反同时计数之仪器。 6.如申请专利范围第1项所记载之线测定装置,其 中,又具备指定评估之能量范围,以显示分析结果 之资料处理器。 7.一种线测定方法,其特征为: 由复数个之半导体检测元件来检测线, 将各别之半导体检测元件的输出讯号予以相加, 依据半导体检测元件之相加输出讯号,以分析线 之能量分布。 8.一种线测定方法,其特征为: 由平面配置之复数个之半导体检测元件来检测 线, 将各别之半导体检测元件的输出讯号予以相加, 反同时计数各别之半导体检测元件的输出讯号, 依据未被反同时计数之半导体检测元件的相加输 出讯号,以分析线之能量分布。 9.一种线测定方法,其特征为: 由上下配置之复数个之半导体检测元件来检测 线, 将各别之半导体检测元件的输出讯号予以相加, 反同时计数各别之半导体检测元件的输出讯号, 依据未被反同时计数之半导体检测元件的相加输 出讯号,以分析线之能量分布。 10.一种线测定方法,其特征为: 由平面以及上下配置之复数个之半导体检测元件 来检测线, 在各平面内将各别之半导体检测元件的输出讯号 予以相加, 反同时计数各平面之半导体检测元件的相加输出 讯号, 依据未被反同时计数之各平面的半导体检测元件 的相加输出讯号,以分析线之能量分布。 图式简单说明: 第1图系显示平面配置复数之半导体检测元件之 线测定装置的实施形态1之系统构造方块图。 第2图系说明以反同时计数手段和资料处理手段, 各别设定识别波高値之能量水准的理由图。 第3图系模型地显示实施形态1之线测定装置的 讯号相互之关系图。 第4图系显示上下配置复数之半导体检测元件之 线测定装置的实施形态2之系统构造方块图。 第5图系显示平面配置进而上下配置复数之半导体 检测元件之线测定装置之实施形态3的系统构造 方块图。 第6图系显示线测定装置的能量计数范围设定例 和背景杂讯降低效果图。 |