用于处理微型零件工件的湿化学处理室

摘要

一种湿化学处理室，包括固定单元，可分离地连接到固定单元上的可拆卸单元，与固定单元和可拆卸单元相接触的密封，和位于固定单元和/或可拆卸单元内的处理部件。固定单元可具有构造为引导处理流体流过固定单元的第一流动系统，和用于将固定单元牢固地连接到综合处理设备平台或盖板上的安装夹具。可拆卸单元可包括构造为引导处理流体流向固定单元第一流动系统和/或引导处理流体从固定单元第一流动系统流出的第二流动系统。密封具有孔，穿过该孔处理流体可在第一和第二流动系统之间流动，并且处理部件可将特性传给处理流体，用于对具有亚微米微型零件的微型零件工件的表面进行处理。

主权项

1、一种用于对微型零件工件进行湿化学处理的室，包括：固定单元，其具有构造为引导处理流体流过该固定单元的第一流动系统和用于将该固定单元牢固地连接到设备支撑构件上的安装夹具；可拆卸单元，其具有构造为引导处理流体流向固定单元第一流动系统和/或引导处理流体从固定单元第一流动系统流出的第二流动系统，以及将特性传给处理流体的处理部件，用于对具有亚微米微型零件的微型零件工件上的表面进行处理；和连接系统，其可分离地将可拆卸单元连接到固定单元上，其中，连接系统具有将可拆卸单元固定到固定单元上的第一位置，和可将可拆卸单元从固定单元上拆下来的第二位置。