微观流体调节阀

摘要

提供一种阀，它能有选择地改变在阀中流动通道的尺寸以便调节通过该阀的流体流量。在示例性实施例中，该阀包括限定空腔并带有延伸进入该空腔的入口和出口的外壳。隔膜定位在该空腔之中，其中至少部分隔膜限定至少部分流体通道。相对于该隔膜固定一个或多个电极，并且相对于该外壳固定一个或多个电极，因此该隔膜能被静电驱动从而调节通过该阀的流体流量。

主权项

1.一种阀，包括：外壳，它限定空腔；与所述空腔流体连通的入口；与所述空腔流体连通的出口；在所述空腔内并在所述入口和出口之间延伸的流体通道，所述流体通道具有横截面积；定位在所述空腔内的隔膜，至少部分所述隔膜限定至少部分所述流体通道；以及用来在至少三个稳定位置之间静电驱动至少部分所述隔膜的装置，其中每个稳定位置导致所述流体通道的不同横截面积，而且所述不同横截面积做成一定尺寸使得流体能在至少两个所述稳定位置内在所述入口和所述出口之间流动。