含杂环碘鎓盐

摘要

本发明涉及适用于阳离子性光聚合引发剂、化学放大型抗蚀剂用酸发生剂的含杂环鎓盐，提供一种用通式[1](式中，R表示用通式[2]或通式[3]表示的基团)表示的含杂环的锍盐：或用通式[35]表示的含杂环的鎓盐，(式中，R²⁶及R²⁷的至少一种是用上述通式[2]或[3]表示的基团)。

主权项

1.一种通式[35]表示的含杂环碘鎓盐，式中，R²⁶及R²⁷分别独立且表示可具有卤原子或碳原子数为1～6的烷基作为取代基的芳基、上述通式[2]表示的基团或通式[3]表示的基团，A₃表示卤原子、或者来自无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，但是，R²⁶及R²⁷中的至少一种是上述通式[2]或[3]表示的基团，另外，当R²⁶及R²⁷的任意一种中仅有一种是通式[2]或[3]表示的基团时，A₃表示来自通式[36]表示的无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，HM₃F₆             [36]式中，M₃表示磷原子、砷原子或锑原子。