异质结双极晶体管及其制造方法

摘要

提供一种异质结双极晶体管，在高浓度n型的第一子集电极层(102)上，依次形成由带隙小的材料构成的高浓度n型的第二子集电极层(108)、i型或低浓度n型的集电极层(103)、高浓度p型的基极层(104)、由带隙大的材料构成的n型发射极层(105)、高浓度n型的发射极帽盖层(106)、和由带隙小的材料构成的高浓度n型的发射极接触层(107)。从发射极接触层(107)引出兼作发射极电极的布线(115A)，从发射极层(105)引出兼作基极电极的布线(115B)，从第二子集电极层(108)引出兼作集电极电极的布线(115C)。这样，可以缩小发射极尺寸，并且能够减少制造成本。

主权项

1、一种异质结双极晶体管，包括：高浓度n型的第一子集电极层；高浓度n型的第二子集电极层，其在所述第一子集电极层上形成，并且由带隙比所述第一子集电极层小的材料构成；i型或低浓度n型的集电极层，其在所述第二子集电极层中的规定部分上形成；高浓度p型的基极层，其在所述集电极层上形成；n型的发射极层，其在所述基极层上形成，并且由带隙比所述基极层大的材料构成；高浓度n型的发射极帽盖层，其在所述发射极层中的规定部分上形成；高浓度n型的发射极接触层，其在所述发射极帽盖层上形成，并且由带隙比所述发射极帽盖层小的材料构成；第一布线，其从所述发射极接触层引出，并且包含成为发射极电极的部分；第二布线，其从所述发射极层中的没有形成所述发射极帽盖层的部分引出，并且包含成为基极电极的部分；和第三布线，其从所述第二子集电极层中的没有形成所述集电极层的部分引出，并且包含成为集电极电极的部分。