基于开孔的衍射光调制器

摘要

本发明涉及衍射光调制器。具体地，本发明涉及基于开孔的衍射光调制器。在该调制器中，在基座构件上设置下部反射部件，穿过从基座构件突起的上部微型反射镜形成开孔，使得使用具有带状上部微型反射镜形的一个单元形成一个像素。

主权项

1.一种基于开孔的衍射光调制器，包括：(a)基座构件；(b)第一反射部件，由基座构件支承，包括：与基座构件分离的中间部分，以使得在其间限定间隔；朝向所述基座构件且与之分离，并用作反射表面以反射入射光的第一面；穿过所述第一反射部件延伸并形成为使得穿过其以通过入射光的至少一个开孔；(c)第二反射部件，位于第一反射部件和基座构件之间，所述第二反射部件：与第一反射部件分开；并且包括面向第一反射部件的反射面，以反射通过所述至少一个开孔的入射光；以及(d)致动单元，用于相对于第二反射部件移动第一反射部件的中间部分，以改变衍射光的强度，该衍射光使用从第一反射部件和第二反射部件反射的光而形成。