纳米步长步进式驱动器

摘要

本实用新型公开了一种纳米步长步进式驱动器，其特征是：有三个滑套在导柱上的压电陶瓷环，驱动压电陶瓷环处于中间，两端分别与刹车压电陶瓷环相连，三个压电陶瓷环上连接有接线头。其有益效果为：由于压电陶瓷伸缩与所加电压有严格线性关系，驱动精度高，且可以通过编程令驱动器连续作几个步长的驱动，从而得到较大值的位移。由于压电陶瓷的特性，本驱动器有较大的驱动能力。本驱动器适用于各种微小机械，可作为集成电路刻线装置中的驱动，光学仪器中的精细微小量位移等。

主权项

1、一种纳米步长步进式驱动器，其特征是：有三个滑套在导柱上的压电陶瓷环，驱动压电陶瓷环处于中间，两端分别与刹车压电陶瓷环相连，三个压电陶瓷环上连接有接线头。