发明名称 多层结构半导体模块及其制造方法
摘要 本发明公开了一种多层结构半导体模块及其制造方法。目的在于:提供一种在谋求提高耐湿可靠性的同时,抑制了弯曲的产生的多层结构半导体模块及其制造方法。半导体模块(1)是通过交替叠层树脂衬底和片状部件(5)而成,该树脂衬底具有第1埋入导体(7),在上表面上安装了半导体芯片(2),该片状部件(5)形成了收纳半导体芯片(2)的开口部(10),具有与第1埋入导体(7)电连接的第2埋入导体(9)。半导体模块(1)具备多个树脂衬底及片状部件(5),树脂衬底中的布置在最下层的第1树脂衬底(4)厚于第2树脂衬底(3)。片状部件(5)具有覆盖半导体芯片(2)的上表面及侧面的粘合部件。
申请公布号 CN1855479A 申请公布日期 2006.11.01
申请号 CN200610073600.6 申请日期 2006.04.13
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 川端毅;佐藤元昭;福田敏行;津田俊雄;登一博;中谷诚一
分类号 H01L25/065(2006.01);H01L21/50(2006.01) 主分类号 H01L25/065(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
主权项 1、一种多层结构半导体模块,其特征在于:是将树脂衬底和片状部件交替叠层而成,其中,该树脂衬底具有第1树脂基材和贯穿上述第1树脂基材的第1埋入导体、在该树脂衬底的上表面上安装了半导体芯片,该片状部件具有形成了收纳上述半导体芯片的开口部的第2树脂基材和贯穿上述第2树脂基材的与上述第1埋入导体电连接的第2埋入导体;还包括覆盖上述半导体芯片的上表面及侧面的粘合部件;上述树脂衬底及上述片状部件有多个;上述树脂衬底中的布置在最下层的树脂衬底厚于其它上述树脂衬底。
地址 日本大阪府