发明名称 |
多层结构半导体模块及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种多层结构半导体模块及其制造方法。目的在于:提供一种在谋求提高耐湿可靠性的同时,抑制了弯曲的产生的多层结构半导体模块及其制造方法。半导体模块(1)是通过交替叠层树脂衬底和片状部件(5)而成,该树脂衬底具有第1埋入导体(7),在上表面上安装了半导体芯片(2),该片状部件(5)形成了收纳半导体芯片(2)的开口部(10),具有与第1埋入导体(7)电连接的第2埋入导体(9)。半导体模块(1)具备多个树脂衬底及片状部件(5),树脂衬底中的布置在最下层的第1树脂衬底(4)厚于第2树脂衬底(3)。片状部件(5)具有覆盖半导体芯片(2)的上表面及侧面的粘合部件。 |
申请公布号 |
CN1855479A |
申请公布日期 |
2006.11.01 |
申请号 |
CN200610073600.6 |
申请日期 |
2006.04.13 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
川端毅;佐藤元昭;福田敏行;津田俊雄;登一博;中谷诚一 |
分类号 |
H01L25/065(2006.01);H01L21/50(2006.01) |
主分类号 |
H01L25/065(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1、一种多层结构半导体模块,其特征在于:是将树脂衬底和片状部件交替叠层而成,其中,该树脂衬底具有第1树脂基材和贯穿上述第1树脂基材的第1埋入导体、在该树脂衬底的上表面上安装了半导体芯片,该片状部件具有形成了收纳上述半导体芯片的开口部的第2树脂基材和贯穿上述第2树脂基材的与上述第1埋入导体电连接的第2埋入导体;还包括覆盖上述半导体芯片的上表面及侧面的粘合部件;上述树脂衬底及上述片状部件有多个;上述树脂衬底中的布置在最下层的树脂衬底厚于其它上述树脂衬底。 |
地址 |
日本大阪府 |