用以形成薄膜的可在基片和防镀片之间改变距离的喷镀设备

摘要

一种喷镀设备，用以在多个真空室内的由基片夹具夹持的基片上形成喷镀薄膜，该喷镀设备具有电极、装在电极和基片夹具之间的防镀片、在真空室之间传送所述基片夹的基片夹具传送机构；和驱动机构，驱动机构用以移动基片夹具传送机构或所述防镀片以改变基片和防镀片之间的距离。

主权项

1.一种喷镀设备，用以在多个真空室内的受基片夹具(8)夹持的基片(7)上形成喷镀薄膜，该喷镀设备具有：电极(12)；防镀片(13、23、33、43、53)，设在所述电极(12)和所述基片夹具(8)之间；基片夹具传送机构(16)，在所述多个真空室之间传送所述基片夹具；和驱动机构，用以驱动所述基片夹具传送机构以改变所述基片和所述防镀片之间的距离。