光罩搬运装置

摘要

本实用新型为一种光罩搬运装置，于横向放置的底板的一侧纵向向上组设有一侧板，此侧板的后侧面组设有一控制盘，侧板的前侧面组设有一载台，其是由传动轴与传动元件相对于侧板上下移动，同时，载台的前侧面凸伸有二伸缩臂，由控制盘控制驱动元件驱动传动轴与传动元件，可使载台相对于侧板上下移动并以其伸缩臂进行光罩的存取。因此，光罩的存取可由光罩搬运装置进行存取，利用自动化的设备可免除以人力进行搬运作业，避免光罩受到损坏，同时可提高工作效率。

主权项

1.一种光罩搬运装置，其特征在于包括：一底板，横向放置并组设有多数个轮组；一侧板，纵向向上组设于该底板的一侧，且该侧板包括有一前侧面及一后侧面，该前侧面的两侧分别向内凹设有一纵向凹槽，每一纵向凹槽内并组设有一传动轴，该侧板并包括有二驱动元件其分别连结每一传动轴；一载台，横向配置于该侧板的前侧面，而与该底板呈平行配置，其包括有一前侧面及一后侧面，该前侧面凸伸有二伸缩臂，该后侧面的两侧分别组设有一传动元件其分别对应套合于该侧板的每一传动轴上；一控制盘，组设于该侧板的后侧面；其中，该控制盘电性连接至每一驱动元件，控制每一驱动元件驱动每一传动轴转动而使该载台相对于该侧板上下移动，并控制该载台的二伸缩臂存取至少一光罩。