以添加物改善金属硅化物热稳定度的方法

摘要

本发明是有关于一种以添加物改善金属硅化物热稳定度的方法。实施例包括：形成多层堆叠排列结构，其中此多层堆叠排列结构包括位于基材上的添加物层，和位于添加物层上的金属层；以及对多层堆叠排列结构进行退火，藉以在基材上形成金属硅化物层，其中此金属硅化物层包含来自于添加物层的添加物。其他实施例至少包括蚀刻多层堆叠排列结构，以移除不反应层。在另一实施例中，多层堆叠排列结构包括位于基材上的金属层、位于金属层上的添加物层，以及可选择性地位于添加物层上的氧阻障层。根据上述实施例所形成的金属硅化物，在高温制程中特别能够抵抗结块现象。

主权项

1、一种以添加物改善金属硅化物热稳定度的方法，其特征在于其包括以下步骤：于一基材上形成一多层堆叠排列结构，其中该多层堆叠排列结构至少包括一添加物层以及一金属层；对该多层堆叠排列结构进行一热制程，藉以在该基材上形成一金属硅化物层，其中该金属硅化物层至少包括来自该添加物层的一添加物；以及蚀刻该多层堆叠排列结构，以去除一未反应材料层。