计算机可实现的晶片预约分批的方法及系统

摘要

本发明提出一种计算机可实现的晶片预约分批的方法，其用于使用多个制程工具进行制造的晶片制造环境中，对于晶片批次进行预约分批。首先，提供耦接于制程工具的数据库。接着，于数据库中，设定晶片批次的分批条件。最后，根据所设定的分批条件，将晶片批次进行分批，得到子晶片批次。

主权项

1.一种计算机可实现的晶片预约分批的方法，其用于使用多个制程工具进行制造的一晶片制造环境中，包括：提供一数据库，其耦接于所述制程工具；于上述数据库中，预先设定一晶片批次的分批条件；以及根据所设定的上述分批条件，将该晶片批次进行分批，得到至少一子晶片批次。