| 发明名称 |
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| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP3840965(B2) |
申请公布日期 |
2006.11.01 |
| 申请号 |
JP20010378245 |
申请日期 |
2001.12.12 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/318 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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