发明名称 |
非挥发性存储器及其制造方法 |
摘要 |
一种非挥发性存储器,由基底、辅助栅极结构、字线、浮置栅极、穿隧介电层、栅间介电层与源极区/漏极区所构成。辅助栅极结构设置于基底上,且辅助栅极结构的底部宽度大于顶部宽度。浮置栅极设置于辅助栅极结构的一侧,且位于字线与基底之间,浮置栅极的底部宽度小于顶部宽度。字线、浮置栅极与辅助栅极结构构成一存储单元。穿隧介电层设置于浮置栅极与基底之间。栅间介电层设置于字线、浮置栅极与辅助栅极结构之间。源极区/漏极区设置于存储单元两侧的基底中。 |
申请公布号 |
CN1855505A |
申请公布日期 |
2006.11.01 |
申请号 |
CN200510065586.0 |
申请日期 |
2005.04.18 |
申请人 |
力晶半导体股份有限公司 |
发明人 |
张格荥;黄丘宗 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L29/788(2006.01);H01L21/8247(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1、一种非挥发性存储器,包括:一基底;一辅助栅极,设置于该基底上,该辅助栅极的底部具有一第一宽度,顶部具有一第二宽度,该第一宽度大于第二宽度;一栅介电层,设置于该辅助栅极与该基底之间;一字线,设置于该基底上;一浮置栅极,设置于该辅助栅极的一侧,且位于该字线与该基底之间,该浮置栅极的底部具有一第三宽度,顶部具有一第四宽度,该第四宽度大于第三宽度,该辅助栅极、该浮置栅极与该字线构成一存储单元;一穿隧介电层,设置于该浮置栅极与该基底之间;一栅间介电层,设置于该字线与该浮置栅极之间、该字线与该辅助栅极之间以及该辅助栅极与该浮置栅及之间;以及一源极区/漏极区,设置于该存储单元两侧的该基底中。 |
地址 |
台湾省新竹市 |