测量装置以及测量方法

摘要

本发明的测量装置具有下列特征：接收各自从被测量物体的一个面上的第1位置以及第2位置进来的反射光的第1以及第2的平行棱镜，以及聚集或者发散从上述第1以及第2的平行棱镜进来的光的光学透镜，以及接收来自上述光学透镜的光并且把上述第1位置及第2位置的图像转换成电信号的图像传感器，以及根据上述电信号把上述的第1位置及第2位置的图像表示在一个画面上的显示装置。根据本发明，利用1个光学系统在1个画面上测量互相分开的复数的位置成为可能。根据本发明的测量装置以及测量方法，通过采用平行棱镜，在被测量物体的正上方可以使光线相对高度方向作90度的弯曲，从而可以减小光学系统的大小、高度(工作距离)，可以使测量装置小型化。

主权项

1.一种测量装置，具有：接收各自从被测量物体的一个面上的第1位置以及第2位置进来的反射光的第1以及第2的平行棱镜，以及聚集或者发散从上述第1以及第2的平行棱镜进来的光的光学透镜，以及接收来自上述光学透镜的光并且把上述第1位置以及第2位置的图像转换成电信号的图像传感器，以及根据上述电信号把上述的第1位置以及第2位置的图像表示在一个画面上的显示装置。