将气体输送至一个腔和将气体从腔排出的装置

摘要

一种装置，其包括：具有腔入口和腔出口的腔；接收第一气流的第一入口；接收第二气流的第二入口；将第一气流排入第一真空泵的第一出口；将第二气流排入第二真空泵的第二出口；将第一入口连接到第一出口和将第二入口连接到第二出口的管道网，以便在各自入口和出口之间限定用于每一气流的第一和第二流道，所述第一流道穿过所述腔入口和腔出口，所述第二流道绕过所述腔；以及通过所述管道网输送气流的装置，以便当一种气流沿着其第一流道流动时，另一种气流沿着其第二流道流动。

主权项

1.一种装置，其包括：具有腔入口和腔出口的腔；接收第一气流的第一入口；接收第二气流的第二入口；将第一气流排入第一真空泵的第一出口；将第二气流排入第二真空泵的第二出口；将第一入口连接到第一出口和将第二入口连接到第二出口的管道网，以便在各自入口和出口之间限定用于每一气流的第一和第二流道，所述第一流道穿过所述腔入口和腔出口，所述第二流道绕过所述腔；以及通过所述管道网输送气流的装置，以便当一种气流沿着其第一流道流动时，另一种气流沿着其第二流道流动。