发明名称 具有瞬逝照明的电子光栅显微镜
摘要 一种电子光栅显微镜,具有瞬逝地照明被布置在载物台(13)上的样品(15)的光源(1)。点探测器(35,36)接收从所述样品(15)的像素发出的探测光(51),其中在所述探测光的光程中布置一射线偏转装置(29),利用它可以移动样品内的像素位置。
申请公布号 CN1856725A 申请公布日期 2006.11.01
申请号 CN200480027804.5 申请日期 2004.09.23
申请人 莱卡微系统CMS有限责任公司 发明人 H·乌尔里希;W·克内贝尔;K·莫尔曼
分类号 G02B21/00(2006.01);G02B21/06(2006.01) 主分类号 G02B21/00(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 刘春元;魏军
主权项 1.电子光栅显微镜,具有瞬逝地照明被布置在载物台上的样品的光源,具有接收从所述样品的像素发出的探测光的点探测器,以及具有被布置在所述探测光的光程中的用于移动样品内的像素位置的射线偏转装置。
地址 德国韦茨拉尔
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