| 发明名称 | 固态摄像装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种具有高信噪比的MOS固态摄像装置。在形成于半导体基底内部的图像检测部分(2)的表面上，提供了其面积小于图像检测部分(2)表面积、具有涂覆于其间的绝缘薄膜(6)的抗反射薄膜(10)。抗反射薄膜(10)被形成为未覆盖图像检测部分(2)和外围区域之间的边界部分。每个抗反射薄膜(10)与栅电极(7)之间的间隙S1的距离和抗反射薄膜(10)与元件隔离区域(5)之间的间隙S2的距离优选等于或大于0.2μm。当抗反射薄膜(10)面积等于或大于图像检测部分(2)表面积的70％时，即使用于带有可互换镜头的照相机，也能抑制像素灵敏度的波动。 | ||
| 申请公布号 | CN1855519A | 申请公布日期 | 2006.11.01 |
| 申请号 | CN200610068289.6 | 申请日期 | 2006.03.27 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 稻垣诚;井垣和明;佐伯幸作 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01) | 主分类号 | H01L27/146(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王琼 |
| 主权项 | 1.一种固态摄像装置，包括：多个布置在半导体基底上的像素，每个像素均包括用来根据接收的光量积聚电荷的图像检测部分；多个抗反射薄膜，每个抗反射薄膜的面积都小于图像检测部分的表面积，并形成在每个图像检测部分上；以及具有多个开口的层间电介质薄膜，每个开口的面积等于或大于图像检测部分的表面积，所述开口形成在抗反射薄膜上方。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||