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发明名称
摘要
申请公布号
KR100587719(B1)
申请公布日期
2006.10.31
申请号
KR19980021621
申请日期
1998.06.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/52
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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