Electrode sheet for electrostatic chuck devices and electrostatic chuck device comprising the same,申请号KR20050128173-传众专利搜索

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发明名称	Electrode sheet for electrostatic chuck devices and electrostatic chuck device comprising the same
摘要
申请公布号	KR100639817(B1)	申请公布日期	2006.10.31
申请号	KR20050128173	申请日期	2005.12.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/683;B23Q3/154;H01L21/68;H02N13/00	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
主权项
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