Optical method and system for the characterization of integrated circuits,申请号KR20027003782-传众专利搜索

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发明名称	Optical method and system for the characterization of integrated circuits
摘要
申请公布号	KR100641271(B1)	申请公布日期	2006.10.31
申请号	KR20027003782	申请日期	2002.03.22
申请人		发明人
分类号	G01B11/02	主分类号	G01B11/02
代理机构		代理人
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