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发明名称 DIFFERENTIAL NUMERICAL APERTURE METHODS AND DEVICE
摘要
申请公布号 IL155187(A) 申请公布日期 2006.10.31
申请号 IL20030155187 申请日期 2003.06.04
申请人 NANOMETRICS INCORPORATED 发明人
分类号 G01B11/06;G01J3/02;G01J4/04;G01N21/21;G01N21/47;G02B21/00;H01L21/027 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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