Method for uniform thickness of the insulator film for thin film fluxgate,申请号KR20040087583-传众专利搜索

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发明名称	Method for uniform thickness of the insulator film for thin film fluxgate
摘要
申请公布号	KR100639781(B1)	申请公布日期	2006.10.30
申请号	KR20040087583	申请日期	2004.10.30
申请人		发明人
分类号	H01L43/02;H01L21/336	主分类号	H01L43/02
代理机构		代理人
主权项
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