发明名称 |
Fabrication of an embossed diaphragm |
摘要 |
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申请公布号 |
SG125918(A1) |
申请公布日期 |
2006.10.30 |
申请号 |
SG20030003832 |
申请日期 |
2003.07.17 |
申请人 |
SENSFAB PTE LTD |
发明人 |
MUN CHONG WAI;SOORIAKUMAR KATHIRGAMASUNDARAM;MENG ONG KOK;CORRALES ARNOLD BACAL |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/318;H04R7/02;H04R7/06 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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