发明名称 Fabrication of an embossed diaphragm
摘要
申请公布号 SG125918(A1) 申请公布日期 2006.10.30
申请号 SG20030003832 申请日期 2003.07.17
申请人 SENSFAB PTE LTD 发明人 MUN CHONG WAI;SOORIAKUMAR KATHIRGAMASUNDARAM;MENG ONG KOK;CORRALES ARNOLD BACAL
分类号 H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/318;H04R7/02;H04R7/06 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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