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发明名称
THIN-FILM DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号
KR100639071(B1)
申请公布日期
2006.10.30
申请号
KR20040067690
申请日期
2004.08.27
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;C23C14/02;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56;C23C16/00;H01L21/20;H01L21/203
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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