发明名称 РЕПРОДУКЦИОННЫЙ ЗЕРКАЛЬНЫЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ
摘要
申请公布号 RU2005111324(A) 申请公布日期 2006.10.27
申请号 RU20050111324 申请日期 2005.04.18
申请人 Федеральное государственное унитарное предпри тие"Научно-производственна  корпораци  "Государственный оптический институт имени С.И.Вавилова",ФГУП "НПК"ГОИ им.С.И.Вавилова" (RU) 发明人 Вознесенский Николай Борисович (RU);Гаврилов Егор Валерьевич (RU);Жевлаков Александр Павлович (RU);Кирилловский Владимир Константинович (RU)
分类号 G02B9/00 主分类号 G02B9/00
代理机构 代理人
主权项
地址