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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines nicht-flüchtigen Flash-Halbleiterspeichers
摘要
申请公布号 DE10220923(B4) 申请公布日期 2006.10.26
申请号 DE20021020923 申请日期 2002.05.10
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SPECHT, MICHAEL;HOFMANN, FRANZ;LANDGRAF, ERHARD;ROESNER, WOLFGANG;STAEDELE, MARTIN
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8246;H01L21/84;H01L27/115;H01L27/12;H01L29/786;H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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