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发明名称 Method for photomask processing
摘要
申请公布号 KR100639027(B1) 申请公布日期 2006.10.26
申请号 KR20040118438 申请日期 2004.12.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/312;H01L21/265;H01L21/306;H01L21/32 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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