发明名称 Method for Forming Semiconductor Pattern
摘要
申请公布号 KR100639030(B1) 申请公布日期 2006.10.26
申请号 KR20040112425 申请日期 2004.12.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/3213;H01L21/336 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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