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Die erfindungsgemäße Transporteinrichtung, insbesondere zum Transport flächiger Substrate durch eine Beschichtungsanlage, umfasst beidseitig drehbar gelagerte, quer zur Transportrichtung horizontal angeordnete Transportwalzen, wobei die obersten Mantellinien der Transportwalzen die Transportebene definieren, und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Endteile der Transportwalzen einen geringeren Durchmesser aufweisen als der Mittelteil der Transportwalzen und dass zwischen den Endteilen der Transportwalzen und der Transportebene Blenden angeordnet sind, die in der axialen Richtung der Transportwalzen zwischen einer ersten und einer zweiten Position verschiebbar gelagert sind. Dadurch, dass die Blenden axial verschiebbar gelagert sind, verlängern sich die Reinigungsintervalle der Transporteinrichtung erheblich. Zunächst sind die Blenden in einer ersten Position angeordnet, bei der das Ende der Blende unterhalb des Substrats und in horizontaler Richtung möglichst nahe an der Mitte der Transportwalze liegt. Über die Substratkante hinausgelangendes Bedampfungsmaterial trifft auf die Blende. Während des Betriebs der Transporteinrichtung werden die Blenden kontinuierlich vom Mittelteil zu den Enden der Transportwalzen verschoben. Dadurch ist das Dickenwachstum der auf den Blenden entstehenden Schicht begrenzt, da der Dampf auf immer neue Abschnitte der Blende trifft.
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