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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR SUPPORTING BASE PLATE, APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING BASE PLATE, METHOD OF REPLACING BASE PLATE, AND EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100638533(B1)
申请公布日期
2006.10.26
申请号
KR20007006261
申请日期
2000.06.09
申请人
发明人
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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