Method of detecting end point in the chemical mechanical polishing,申请号KR20040115648-传众专利搜索

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发明名称	Method of detecting end point in the chemical mechanical polishing
摘要
申请公布号	KR100638975(B1)	申请公布日期	2006.10.26
申请号	KR20040115648	申请日期	2004.12.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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