| 发明名称 | 一种感应耦合等离子体线圈的包装装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及电感耦合等离子体装置，具体涉及一种感应耦合等离子体线圈的包装装置。本发明公开的一种感应耦合等离子体线圈的包装装置，包括包装盒，其中，所述包装盒为密封盒。本发明使设备使用者无法看到线圈的具体设计，保护了生产者的技术秘密；本发明保护线圈不会被腐蚀性气体氧化，使其使用寿命增长。 | ||
| 申请公布号 | CN1851879A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126339.7 | 申请日期 | 2005.12.07 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 申浩南 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01);H05H1/00(2006.01);H01J37/32(2006.01);H01J37/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王常风 |
| 主权项 | 1、一种感应耦合等离子体线圈的包装装置，包括包装盒，其特征在于：所述包装盒为密封盒。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||