叠合标记的结构以及其形成方法

摘要

本发明提出一种形成叠合标记的方法，此方法是首先在一基底上形成一材料层，并且图案化材料层以形成一外部标记。接着，在材料层上形成一第一膜层，并且进行一平坦化步骤，以移除部分第一膜层。之后，在材料层上形成一第二膜层，覆盖第一膜层，其中第二膜层的应力是与第一膜层的应力不同。然后移除外部标记上方的第二膜层，再于外部标记的内围形成一内部标号。由于本发明将外部标记上方的第二膜层移除，因此可以避免高应力的第二膜层会有沉积厚度不均匀的情形，而造成叠合标记的量测产生错误。

主权项

1.一种形成叠合标记的方法，其特征是，该方法包括：在一基底上形成一材料层；图案化该材料层，以形成一外部标记；在该材料层的表面上形成一第一膜层；进行一平坦化步骤，以移除部分该第一膜层；在该材料层上形成一第二膜层，覆盖该第一膜层，其中该第二膜层的应力是与该第一膜层的应力不同；移除该外部标记上方的该第二膜层；以及在该外部标记的内围形成一内部标号。