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发明名称
摘要
申请公布号 JP3837365(B2) 申请公布日期 2006.10.25
申请号 JP20020178896 申请日期 2002.06.19
申请人 发明人
分类号 C23C16/507;H01L21/31 主分类号 C23C16/507
代理机构 代理人
主权项
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