| 发明名称 | 一种等离子体内电子温度测量装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体刻蚀控制技术。本发明提出一种等离子体内电子温度测量装置，其中包括光谱仪和通用计算机，其中光谱仪获得等离子体的光谱信息并输出到通用计算机；通用计算机接收等离子体的光谱信息，计算等离子体内电子的温度。采用本发明可以实时获得等离子体内电子温度、进行等离子体状态的监控。这种方法节约时间，提高生产效率，而且可以及时的诊断故障的发生。而且采用本发明的装置对等离子体没有干扰，对工艺的效果没有干扰，提高了测量的准确度。 | ||
| 申请公布号 | CN1851420A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126389.5 | 申请日期 | 2005.12.08 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 陈卓 |
| 分类号 | G01J5/46(2006.01);G01J5/00(2006.01);H01L21/3065(2006.01) | 主分类号 | G01J5/46(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡世英 |
| 主权项 | 1、一种等离子体内电子温度测量装置，其特征在于包括光谱仪和通用计算机，其中光谱仪获得等离子体的光谱信息并输出到通用计算机；通用计算机接收等离子体的光谱信息，计算等离子体内电子的温度。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||